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離子束輔助沉積鍍膜
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  • 離子束輔助沉積鍍膜
  • 離子束輔助鍍膜相關資料
    姓名:劉翔翔
    學號:20100760
    學院:機械與汽車工程學院
    班級:真空一班


    用離子束輔助沉積技術制備ZnS/MgF2膜①
    鍍膜機采用北京儀器廠生產的ZZSX-
    1200真空鍍膜機。鍍膜室尺寸(寬×深×
    高):1200×958×1250(mm3)。蒸發源有電
    阻式和電子槍兩種。夾具為球面行星、公自
    轉結構,數量為3片,每片可放置Φ50mm冷
    光杯192個,即每次可鍍覆576個Φ50mm
    冷光杯。烘烤采用管狀加熱器輻射加熱方
    式。
    離子源為自行設計制造,外徑160mm。
    輸入電壓220V,50Hz,±10%。陰極燈絲用
    Φ0.5mm鎢絲制成,長度120mm,工作電流
    16~20A。放電壓一般為50V,電流2~3A,即放電功率一般控制在100~150W。本離子源
    不用加速極與柵極,結構較為簡單,容易進行維修。
    膜厚監控采用石英晶體振蕩儀。監測厚度(深度)范圍0.1nm~999.9μm,自動換擋,分
    辨率0.1nm。監測速率范圍0.1~99.99nm,分辨率0.1nm。預置終點厚度0.1nm~999.
    9μm。輸入電壓:220V,50Hz,功率小于40W。
    離子...
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