傳感器論文
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- 傳感器論文半導體單晶硅材料在受到外力作用時,會產生肉眼察覺不到的極微小應變,其原子結構內部的電子能級狀態(tài)將發(fā)生變化,從而導致其電阻率劇烈的變化,由這種材料制成的電阻也隨之出現(xiàn)極大變化,這種物理效應稱為壓阻效應。硅壓阻式傳感器就是根據(jù)半導體材料的壓阻效應,在半導體材料的基片上經擴散電阻而制成的.基片可直接作為測量傳感元件,擴散電阻在基片內接成電橋形式,當基片受到外力作用而產生形變時,各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會產生相應的不平衡輸出。MPX2100壓力傳感器是在一片硅基片上采用X型壓敏電阻元件,該壓敏電阻元件內有一片硅膜應變計.傳感器的每一片芯片上都含有一薄膜電阻網絡,該電阻網絡利用離子注入工藝光刻在硅膜上,極為精確.傳感器內還有熱敏電阻,能自動進行溫度補償.這種設計方法避免了采用惠斯登電橋結構時,四個橋臂電阻不匹配而引起的測量誤差大、零點漂移較大、不易調整等缺點。MPX2100壓力傳感器的精度高、重復性好,它可以在0～85℃的溫度范圍內工作,測量的壓力差動范圍為0～100 kPa,線性度為±0.25%,滿量程輸出電壓為40 mV,響應時間小于1 ms;供電電源可以使用恒壓源,也可以使用恒流源.MPX2100還具有良好的介質兼容性,可以直接對干燥無腐蝕性氣量。
進氣支氣管絕對壓力傳感器（Manifold Absolutely Pressure Sensor ,MAP）也稱進氣壓力傳感器用于D型汽油噴射系統(tǒng),它在汽油噴射系統(tǒng)中所起的作用是測量進氣量從而決定噴油量。進氣支氣管絕對壓力傳感器根據(jù)發(fā)動機的負荷狀態(tài)測出進氣歧管內絕對壓力(真空度)的變化,并轉換成電壓信號,與轉速信號一起輸送到發(fā)動機電控單元(ECU),作為確定噴油器基本噴油量的依據(jù).在當今發(fā)動機電子控制系統(tǒng)中,應用最為廣泛的是半導體壓敏電阻式進氣支氣管壓力傳感器,下面介紹其結構原理及工作原理。
半導體壓敏電阻式進氣支氣管絕對壓力傳感器，其壓力轉換元件是利用半導體的壓阻效應制成的硅膜片。硅膜片的一面是真空室，另一面...
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