微細電化學加工機床結構設計
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- )隨著越來越多的微細結構出現在工業應用中，微細加工的研究得到越來越廣泛的重視。近幾年來由于許多其它領域的新技術、新工藝的引入以及對電解加工過程機理的更深入研究，電解加工一改原來加工精度不高的特點，被應用于高精度微細結構的加工中，在微細電解技術方面的研究也迅速發展起來[1-2]。電解加工是利用金屬在電解液中可以發生陽極溶解的原理，將零件加工成形的，其材料的減少過程以離子的形式進行[3]。由于金屬離子的尺寸非常微小，所以這種微溶解去除方式使得電解加工技術在微細制造領域有著很大的發展潛力。研究微細電解加工技術，并研制開發相應的微細電解加工系統具有重要的現實意義[4]。
1.2 研究意義
隨著微納米技術的不斷發展，微細加工技術作為實現其應用的關鍵技術和重要基礎，得到了的廣泛關注。電解加工作為一種基于陽極溶解的減材技術，在其加工過程中，陽極上的金屬原子不斷地失去電子成為離子而從工件上溶解，其材料的減少過程以離子的形式進行[5]。由于金屬離子的尺寸非常微小，因此這種微溶解去除方式使得電解加工技術在微細制造領域有著很大的發展潛力和應用前景[6]。近些年來微細電解加工技術成為國內外微細加工領域中新的研究熱點，并在加工精度和加工尺度上取得一些突破性進展但是，目前還存在加工效率低、無法加工深孔和窄縫等局限性，實用性尚不夠。研究經濟、高效、實用的微細電解加工機床是本文研究的主要內容。精密電解加工技術，電解加工中由于影響間隙電場和流場穩定性的參數很多，控制比較困難，再加上加工時的雜散腐蝕，使得電解加工不易達到較高的加工精度[7-10]。
由于到目前為止國內外對微細電解加工的研究還基本處于起步階段，沒有系列化、實用化的微細電解加工機床設備真正面市，但微細加工技術是當今世界...
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