JEL真空機械手
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- JEL真空機械手是一種用于半導體制造過程中晶圓搬運的自動化設備。
JEL真空機械手，又稱JEL晶圓搬運機械臂，是一種專門設計用于在潔凈環(huán)境下搬運半導體晶圓的自動化設備。它們通常采用真空吸附的方式固定晶圓，并能夠適應不同的晶圓尺寸和形狀。JEL機械手有多種類型，包括3軸、4軸和5軸機械手，每種類型都有其特定的應用場景和技術特點。
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